多氟多进入台积电供应链,国产氢氟酸进入国际一流水平

通信技术 1年前 (2022) aysz01
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近日,国产高纯电子化学品材料龙头厂商多氟多新材料股份有限公司(以下简称“多氟多”)发布公告,公司在经过台积电(南京)有限公司南京工厂(以下简称“台积电南京厂”)现场审核和多轮上线测试后,目前正式进入台积电合格供应商体系,并于近期开始向台积电南京厂批量交付高纯电子化学品材料。

据了解,此次多氟多打入台积电供应链的材料为高纯电子级氢氟酸。

什么是电子级氢氟酸?

高纯电子化学品又称湿电子化学品,品种类繁多,比如氢氟酸、光刻胶、氟化聚酰胺等,应用广泛,是微电子、光电子湿法工艺制程中使用的各种电子化工材料。

超净高纯试剂一般要求尘埃颗粒粒径控制在 0.5?m 以下,杂质含量低于ppm 级(10-6 为 ppm,10-9 为 ppb,是 10-12为 ppt)的化学试剂,是化学试剂中对颗粒粒径控制、杂质含量要求最高的试剂。

目前广泛运用于半导体、太阳能硅片、LED 和平板显示等电子元器件的清洗和蚀刻等工艺环节。

电子级氢氟酸是高纯电子化学品当中的一种,主要用于去除氧化物,在半导体、太阳能光伏板和液晶显示器制造过程当中被大量使用。其中,半导体制造是电子级氢氟酸的最大应用市场,约占氢氟酸总消耗量47.3%。

在半导体制造过程中,电子级氢氟酸主要用于晶圆表面清洗、芯片加工过程的清洗和腐蚀等。

资料显示,在半导体制程中,有50多个环节需要使用高纯度电子氟化氢,足见其重要性。不过,相对于其他领域的应用来说,半导体制造对于电子级氢氟酸的品质和纯度要求也更高。

国产电子级氢氟酸已进入国际一流水平

据多氟多董事长李世江介绍说,多氟多在超净高纯电子化学品的研发生产过程中,突破了工艺技术、分析检测技术、超净化处理技术、包装容器的清洗技术及标准化技术等关键技术,所生产的电子级氢氟酸品质达到UP-SSS级(G5级别),产品纯度达到PPT级,是目前半导体用电子级氢氟酸的最高级别,能够满足目前最先进工艺制程对材料的要求,处于国际一流水平。

而根据国际半导体设备与材料组织(SEMI)成立的 SEMI 化学试剂标准委员会,对世界湿电子化学品的等级的标准划分来看,主要划分为 SEMI G1 至 SEMI G5级。

在各应用领域的产品标准有所不同,光伏一般只需要 G1 级水平;显示面板和 LED 对湿电子化学品的等级要求一般为 G2、G3 水平;半导体制造对湿电子化学品的纯度要求较高,基本集中在 G3以上水平,晶圆尺寸越大对纯度要求越高,12 英寸晶圆制造一般要求 G4 以上,即G5级;分立器件对湿电子化学品纯度的要求低于芯片制造,基本集中在 G2级。

据不完全统计,我国电子级氢氟酸生产厂家有11家左右,但是能够达到半导体所用G4级及以上的企业仅多氟多、中巨芯(原巨化股份)、滨化股份、兴发集团四家左右。而能够供应12英寸晶圆使用需求的超净高纯电子级氢氟酸,即G5级别(UP-SSS)电子级氢氟酸的,目前似乎只有多氟多一家。

鉴于全球晶圆代工龙头台积电对于材料的严格要求,此次多氟多成功打入台积电南京12英寸晶圆厂(主要生产16/12nm制程芯片)的G5级电子级氢氟酸产品已达到了国际一流水平。

版权声明:aysz01 发表于 2022-09-09 17:07:44。
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